Si半導体
今や生活に欠かせないものとなったスマホやカーナビ・AI家電などのエレクトロニクス産業の重要なパーツである半導体。
エッチング用材料
| Poly-Si/アモルファスSi用 | HBr SiCl4 HF |
|---|---|
| 配線用 | BCl3 BBr3 Br2 |
イオン注入用材料
| BF3 , 11BF3（B化合物） PF3 GeF4 InI , InCl3 , InF3（In化合物） Sb化合物 |
クリーニング用材料
| CH3OH HF SiCl4 |
配線関係用材料
| シード層用 配線材料用 |
Cu化合物 | HfacCu:TMVS/TMVS (Hfac)2Cu:DMDV |
|---|---|---|
| Al化合物 | (CH3)2AlH(DMAH) AIH3・N(C2H5)2(CH3)(DMEAA) |
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| Ｗ化合物 | WCl5 WCl6 |
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| Mo化合物 | MoCl5 MoCl6 |
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| バリアメタル用 | Ti化合物 | TiCl4 [(CH3)2N]4Ti (TDMAT) [(C2H5)2N]4Ti (TDEAT) |
| Ta化合物 | [(CH3)2N]5Ta (PDMAT) TaCl5 |
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| Co化合物 | Co2(CO)6[HCCC(CH3)3] (CCTBA) | |
| Ru化合物 | (EtCp)2Ru | |
| Ni化合物 | (C3H5)(C5H5)Ni (MeCp)2Ni |
絶縁膜関係
| Low-k材料 (低比誘電率膜) |
(CH3O)2Si(CH3)2 (DMDMOS) アルキルシリコン化合物 |
|---|---|
| 酸化膜材料 | [(CH3)2N]3SiH (3DMAS) |
| High-K材料 | (C5H5)Hf[N(CH3)2]3 (HOC) [(CH3)(C2H5)N]4Zr (TEMAZr) (i-C3H7O)4Ti (CH3)3Al (TMA) AlCl3 ランタノイド化合物 |
| 強誘電体 | (C11H19O2)2 Pb (C11H19O2)4 Zr (t-C4H9O)4 Zr (i-C3H7O)4 Ti |
| 電極 | (CH3)3(CH3C5H4)Pt (C2H5)3Al (TEA) TaCl5 |
| その他 | その他にも様々な材料を取り扱っております |