化合物半導体／酸化物半導体用材料
次世代高速データ通信やEV（電気自動車）、新世代グリーンパワーなどの進化には化合物半導体および酸化物半導体用材料が不可欠です。次世代の高速通信や省エネルギー化を支えるコア技術として、最先端の薄膜プロセスに適合する高純度な化学材料をグローバルに供給しています。
| 波長 | 発光色 | 化合物半導体 酸化物半導体 |
化合物名 | |
|---|---|---|---|---|
| メイン材料 | 添加剤 | |||
|
2000 1500 1000 900 800 700 600 500 400 300 |
赤外線領域 赤 橙 黄 緑 青 紫 紫外線領域 |
GaSb InSb GaInAsP GaInNAs GaAlAs AlInGaP ZnSe GaN BGaN Ga2O3 |
Ga(CH3)3 TMSb TEI Ga(CH3)3 PCl3 (t-Bu)PH2 TEI Ga(CH3)3 (CH3)2N(NH2) TIBAl TEI Ga(CH3)3 TMA TIBAl TMA Ga(CH3)3 TIBAl TEI Zn(CH3)2 Zn(C2H5)2 Se(CH3)2 Ga(CH3)3 GaCl3 (CH3)2N(NH2) B(CH3)3 B(C2H5)3 Ga(CH3)3 |
Zn(CH3)2 (P) Zn(C2H5)2 (P) Fe(C5H5)2 Zn(C2H5)2 (P) Zn(C2H5)2 (P) Zn(C2H5)2 (P) t-BuLi (P) Mg(C5H5)2 (P) SiH3CH3 (N) |
その他に高速デバイス用化合物半導体材料も扱っております。